特許
J-GLOBAL ID：202203001713266978
マイクロチャンバ、マイクロチャンバ装置、及びマイクロチャンバの製造方法
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
稲葉 良幸
, 大貫 敏史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2021-094329
公開番号（公開出願番号）：特開2022-186218
出願日： 2021年06月04日
公開日（公表日）： 2022年12月15日
要約：
【課題】高い空間分解能及び高い検出感度による反応検出を可能とする、マイクロチャンバ、マイクロチャンバ装置、及びマイクロチャンバの製造方法を提供する。
【解決手段】マイクロチャンバ101は、凹部1021が設けられるダイヤモンド基板102と、凹部1021の側面1022上に形成され、NV中心を有するダイヤモンド結晶層1031と、を備える。
【選択図】図1
請求項（抜粋）：
凹部が設けられるダイヤモンド基板と、
前記凹部の側面上に形成され、NV中心を有するダイヤモンド結晶層と、
を備える、マイクロチャンバ。
IPC (4件)：
G01N 21/64
, G01N 24/00
, G01N 21/03
, G01N 37/00
G01N21/64 Z
, G01N24/00 Z
, G01N21/03 Z
, G01N37/00 101
2G043AA04
, 2G043BA16
, 2G043CA04
, 2G043DA05
, 2G043EA01
, 2G043FA02
, 2G043KA09
, 2G057AA04
, 2G057AB04
, 2G057BA03
