特許

J-GLOBAL ID：202203002527219931

タングステン前駆体及びこれを利用するタングステン含有膜の形成方法

発明者： 李 沼 ▲よん▼ ,  林 載 順 ,  尹 至 恩 ,  齋藤 昭夫 ,  白鳥 翼 ,  青木 雄太郎
出願人/特許権者： 三星電子株式会社 ,  株式会社ADEKA
代理人 (3件)： 伊東 忠重 ,  伊東 忠彦 ,  大貫 進介
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-088321
公開番号（公開出願番号）：特開2019-004138
特許番号：特許第7064945号
出願日： 2018年05月01日
公開日（公表日）： 2019年01月10日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 下記の化学式1:で示され、 前記化学式1でR1、R2、及びR3は各々独立的に置換又は非置換されたC1~C5である直鎖或いは分岐形態のアルキル基を含み、 R4及びR5は各々独立的にC1~C5である直鎖或いは分岐形態のアルキル基、ハロゲン元素、C2~C10であるジアルキルアミノ基又はC3~C12であるトリアルキルシリル基であり、 nは1又は2であり、mは0又は1であり、 nが1であるとき、mは1である。 nが2であるとき、mは0であり、R1とR2は各々2つであり、2つのR1は各々互いに独立的であり、2つのR2は各々互いに独立的である、 タングステン前駆体。

IPC (3件)：

H01L 21/285 ( 200 6.01) ,  C23C 16/18 ( 200 6.01) ,  C07F 11/00 ( 200 6.01)

FI (5件)：

H01L 21/285 301 ,  C23C 16/18 ,  H01L 21/285 C ,  H01L 21/285 P ,  C07F 11/00 C