特許
J-GLOBAL ID：202203006016863030
角速度センサおよび角速度センサの制御方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
鎌田 健司
, 野村 幸一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：JP2018014873
特許番号：特許第7045620号
出願日： 2018年04月09日
請求項（抜粋）：
【請求項1】モニタ電極、駆動電極、センス電極及び錘部を有する角速度センサ素子と、前記駆動電極へ電気信号を印加して前記錘部を駆動する駆動回路と、前記センス電極から前記錘部のX軸方向への変位により生じる電気信号が入力される検出回路と、前記角速度センサ素子に基準電位を供給する基準電位供給回路と、を備え、前記モニタ電極は、前記錘部のY軸方向への変位により生じる静電容量の変化を検知するように構成されており、前記基準電位供給回路は、 前記モニタ電極に接続する第1CV変換部と、 前記センス電極に接続する第2CV変換部と、 前記第1CV変換部と前記第2CV変換部に接続された比較器と、前記比較器に接続された基準電位調整回路と、を有し、前記比較器は、前記第1CV変換部から出力された信号の周波数と前記第2CV変換部から出力された信号の周波数との差分に応じた制御信号を出力するように構成されており、前記基準電位調整回路は、前記制御信号に応じて前記第1CV変換部と前記第2CV変換部に供給する前記基準電位を変更するように構成された角速度センサ。
IPC (2件)：
G01C 19/5726 ( 201 2.01)
, G01C 19/574 ( 201 2.01)
G01C 19/572
, G01C 19/574
