特許
J-GLOBAL ID：202203006166178548
改良された粒子蒸着システムと方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人R&C
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-556514
公開番号（公開出願番号）：特開2020-114801
特許番号：特許第7021286号
出願日： 2016年01月13日
公開日（公表日）： 2020年07月30日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ワークピースの第一の部分にシリカ粒子を蒸着するための、第一の化学蒸着バーナーと第二の化学蒸着バーナーを有する第一のバーナーセットと、 前記第一のバーナーセットから距離Tを隔てて設けられた、前記ワークピースの第二の部分にシリカ粒子を蒸着するための、第三の化学蒸着バーナーと第四の化学蒸着バーナーを有する第二のバーナーセットと、 第一、第二、第三、および第四の前記化学蒸着バーナーが前記ワークピースに面するように、第一および第二の前記バーナーセットに対して前記ワークピースを保持および回転させるように構成された旋盤と、 前記旋盤に接続され、前記バーナーセットに対する前記ワークピースの位置を制御するコンピューターと、を含み、 それぞれの前記バーナーセットに含まれる二つの前記化学蒸着バーナーの間の長手方向の最長距離は、異なる前記バーナーセットに含まれる二つの前記化学蒸着バーナーの間の最短距離より短く、 前記コンピューターは、前記旋盤を駆動して、前記ワークピースの長さに基づいて、前記ワークピースと前記バーナーセットとの間の長手方向の相対往復運動を生じさせるあいだ、前記ワークピースを回転させるように構成され、 前記相対往復運動は、各方向の長手方向の経路に沿って、 前記第一のバーナーセットの前記化学蒸着バーナーのうちの一つのみが、第一端部分にトラバースし、 前記第一のバーナーセットの前記化学蒸着バーナーのうちの一つが、前記第一の部分と前記第二の部分とがオーバーラップするオーバーラップ部分にトラバースし、 前記第二のバーナーセットの前記化学蒸着バーナーのうちの一つが、前記オーバーラップ部分にトラバースし、 前記第一のバーナーセットの前記化学蒸着バーナーの両方が、前記第一端部分から前記オーバーラップ部分まで延びる前記第一の部分の第一中間部分にトラバースし、 前記第二のバーナーセットの前記化学蒸着バーナーの両方が、前記オーバーラップ部分から前記ワークピースの第二端部分に向けて延びる前記第二の部分の第二中間部分にトラバースする、 ように構成される ワークピース上にシリカ粒子を蒸着するための蒸着システム。
IPC (2件)：
C03B 8/04 ( 200 6.01)
, C03B 37/018 ( 200 6.01)
C03B 8/04 C
, C03B 37/018 C
