特許

J-GLOBAL ID：202203006384244641

容量素子及びプラズマ処理装置

発明者： 中田 誓治 ,  安東 靖典 ,  久保田 清
出願人/特許権者： 日新電機株式会社
代理人 (2件)： 西村 竜平 ,  齊藤 真大
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-013771
公開番号（公開出願番号）：特開2019-134022
特許番号：特許第7022313号
出願日： 2018年01月30日
公開日（公表日）： 2019年08月08日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 互いに対向して設けられた一対の固定電極と、 前記一対の固定電極の間に出入可能に設けられた固体誘電体と、 前記一対の固定電極及び前記固体誘電体を収容する収容容器と、 前記収容容器内に導入されて前記一対の固定電極の間に介在する液体誘電体とを具備する、容量素子。

IPC (3件)：

H01G 5/013 ( 200 6.01) ,  H05H 1/46 ( 200 6.01) ,  C23C 16/509 ( 200 6.01)

FI (3件)：

H01G 5/013 200 ,  H05H 1/46 L ,  C23C 16/509