特許
J-GLOBAL ID：202203008131290933
調整可能なMEMSエタロン
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人浅村特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：IL2016050772
特許番号：特許第7046792号
出願日： 2016年07月14日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 調整可能な微小電気機械(MEMS)エタロンシステムであって、前記調整可能なMEMSエタロンシステムは、 - 前記エタロンシステムのアパーチャミラーである第1のミラーを懸架するための懸架構造を備える機能層と、 - 前記懸架構造に結合されたアパーチャミラーと、 - 前記エタロンシステムのバックミラーである第2のミラーを備える裏面層とを備え、 前記機能層は、気密シールによって前記裏面層に結合される周辺フレーム領域を備え、 前記調整可能なMEMSエタロンシステムは、第1のガラス基板をさらに備え、前記第1のガラス基板は、キャッププレートとして働き、気密シールによって前記周辺フレーム領域に対して上から結合され、それによって、前記キャッププレートと前記裏面層との間の前記アパーチャミラーを囲む空間を密封し、 前記アパーチャミラーと前記バックミラーとの間の変位が、静電力を用いて調節可能であり、前記キャッププレートが、設置された作動層として働き、1つまたは複数の電極を含み、前記1つまたは複数の電極は、前記キャッププレートの1つまたは複数の領域に設置され、前記機能層から電気的に絶縁されており、前記アパーチャミラーと前記バックミラーとの間の前記変位が、前記作動層の前記1つまたは複数の領域と前記機能層との間に電位差を印加することによって調節可能である、調整可能なMEMSエタロンシステム。
IPC (2件)：
G02B 26/00 ( 200 6.01)
, B81B 3/00 ( 200 6.01)
