特許
J-GLOBAL ID：202203008345321984
薄型ウエハの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人英明国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-164373
公開番号（公開出願番号）：特開2020-038866
特許番号：特許第7035915号
出願日： 2018年09月03日
公開日（公表日）： 2020年03月12日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 支持体と、該支持体上に形成された接着剤層と、該接着剤層に回路面を有する表面が対向するように積層されたウエハとを備えるウエハ積層体の支持体側から光を照射することで積層体から支持体を剥離する工程、及び前記工程後、ウエハに残存した樹脂層をピール剥離によりウエハから除去する工程を含む薄型ウエハの製造方法であって、 前記接着剤層が、前記支持体側から順に、遮光性を有する樹脂層Aと、熱硬化性シリコーン樹脂を含む樹脂層Bとのみを含み、樹脂層Bが、シロキサン骨格及びエポキシ基を含む樹脂を含み、前記シロキサン骨格及びエポキシ基を含む樹脂が、下記式(2)で表される繰り返し単位及び必要に応じて下記式(3)で表される繰り返し単位を含むものである薄型ウエハの製造方法。[式中、R31~R34は、それぞれ独立に、炭素数1~8の1価炭化水素基である。mは、1~100の整数である。A及びBは、0<A≦1、0≦B<1、かつA+B=1を満たす数である。X1及びX2は、下記式(4)で表される2価の有機基である。(式中、Y1は、単結合、メチレン基、プロパン-2,2-ジイル基、1,1,1,3,3,3-ヘキサフルオロプロパン-2,2-ジイル基又はフルオレン-9,9-ジイル基である。R41及びR42は、それぞれ独立に、炭素数1~4のアルキル基又はアルコキシ基である。p及びqは、それぞれ独立に、0、1又は2である。)
IPC (8件)：
H01L 21/304 ( 200 6.01)
, C09J 183/00 ( 200 6.01)
, C09J 183/04 ( 200 6.01)
, C09J 123/00 ( 200 6.01)
, C09J 109/00 ( 200 6.01)
, C09J 125/04 ( 200 6.01)
, C09J 7/30 ( 201 8.01)
, C08G 8/04 ( 200 6.01)
H01L 21/304 622 J
, C09J 183/00
, C09J 183/04
, C09J 123/00
, C09J 109/00
, C09J 125/04
, C09J 7/30
, C08G 8/04
