特許

J-GLOBAL ID：202203008554417433

3次元構造の検知面を有するセンサ、並びに、そのセンサの形成方法および使用方法

発明者： ザファー、スフィ ,  オサリヴァン、ユージーン ,  ドリス、ブルース
出願人/特許権者： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション
代理人 (2件)： 上野 剛史 ,  太佐 種一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：IB2018051870
特許番号：特許第7024158号
出願日： 2018年03月20日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ゲートを有する電界効果トランジスタ(FET)を備えている検知回路と、 前記検知回路に通信連結されたプローブとを備えているセンサであって、前記ゲートの頂部表面上の部分が2次元(2D)検知面を備えており、 前記プローブは、前記2次元(2D)検知面上に、認識素子でコーティングされた3次元(3D)検知面を備えており、ここで、前記3次元(3D)検知面は、前記2次元(2D)検知面の一部が露出されるように、該2次元(2D)検知面上に配置されている、 少なくとも部分的に所定の素材と相互作用する3次元(3D)検知面に基づいて第1の測定値を生成するように構成されている、前記センサ。

IPC (2件)：

G01N 27/414 ( 200 6.01) ,  G01N 27/00 ( 200 6.01)

FI (3件)：

G01N 27/414 301 V ,  G01N 27/414 301 U ,  G01N 27/00 J