特許

J-GLOBAL ID：202203009534733920

脂質二重膜形成用隔壁及びその製造方法

発明者： 大崎 寿久 ,  早川 正俊 ,  神谷 厚輝 ,  金子 美晴 ,  上原 秀雄 ,  荒木 勝文 ,  根田 歩 ,  平田 肇 ,  浦 敏行
出願人/特許権者： 地方独立行政法人神奈川県立産業技術総合研究所 ,  東レエンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人谷川国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-007076
公開番号（公開出願番号）：特開2019-122945
特許番号：特許第7067699号
出願日： 2018年01月19日
公開日（公表日）： 2019年07月25日
請求項（抜粋）：

【請求項1】1個又は複数の貫通孔を有する湿式エッチング可能な樹脂から形成される薄膜と、該薄膜の両面を被覆する、湿式エッチング可能な樹脂から形成される補強層を具備し、該補強層は、前記各貫通孔及び各貫通孔の周辺部分以外の部分を被覆し、前記貫通孔は、その断面がテーパー状である、脂質二重膜形成用隔壁の製造方法であって、 片面が支持体フィルムにより被覆された、前記薄膜を準備する工程と、 該薄膜を選択的にエッチングして、断面がテーパー状である1個又は複数の前記貫通孔を形成する工程と、 前記薄膜の、前記支持体フィルムに被覆された面と反対側の面の全面を、感光性樹脂層で被覆する工程と、 前記支持体フィルムを剥離する工程と、 該支持体フィルムが剥離されて露出した前記薄膜の面の全面を、感光性樹脂層で被覆する工程と、 前記薄膜の両面に形成された感光性樹脂層を選択フォトエッチングし、前記各貫通孔を埋める感光性樹脂及び各貫通孔の周辺部分の感光性樹脂を選択的に除去する工程と、 前記両方の感光性樹脂層を加熱処理して前記補強層とする工程とを含む、製造方法。

IPC (3件)：

B01J 19/00 ( 200 6.01) ,  G03F 7/40 ( 200 6.01) ,  G03F 7/42 ( 200 6.01)

FI (4件)：

B01J 19/00 M ,  G03F 7/40 521 ,  G03F 7/42 ,  G03F 7/40 501

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 脂質二重膜形成器具
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2013-216009   出願人：公益財団法人神奈川科学技術アカデミー, 国立大学法人東京大学
• 特許第6863833号
  

引用文献：

審査官引用 (1件)

• Shaped Apertures in Photoresist Films Enhance the Lifetime and Mechanical Stability of Suspended Lip