特許

J-GLOBAL ID：202203010069076452

導電トラックの形成方法および装置

発明者： ブルトン,アダム ノース ,  ヘンリー,サイモン ジョン
出願人/特許権者： エム-ソルブ リミテッド
代理人 (1件)： 特許業務法人後藤特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：GB2016052387
特許番号：特許第7079727号
出願日： 2016年08月03日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 基板の表面上に導電トラックを形成する方法であって、前記基板は、前記基板の表面上のパスに沿って堆積材料を含み、前記パスが前記基板の上面に所定のパターンで形成され、前記パスが、異なる方向に伸びる直線部分および曲線部分を含み、前記方法は、 前記基板を準備する工程と、 光軸と、前記表面に入射するレーザービームの断面領域におけるエネルギー分布と、を有し、前記エネルギー分布が前記表面において前記光軸に対して非円形対称であるレーザービームを発生する工程と、 前記堆積材料を照射するために前記パスに沿って移動し、前記パスに沿って前記導電トラックを設けるように前記レーザービームを向ける工程と、を含み、 前記レーザービームは、前記パスの前記直線部分および前記曲線部分に追従するように構成され、前記断面領域における前記エネルギー分布の選択された配向は、前記レーザービームの移動方向に整列され、前記レーザービームの断面領域におけるエネルギー分布が、前記選択される配向と移動方向との整列が維持されるように前記基板に対して光軸を中心に回転し、 前記表面に入射する断面領域の形状および前記表面に入射する断面領域におけるレーザービームのエネルギー分布は、前記ビームがパスに沿って移動する際に、前記堆積材料が前記基板の表面における前記断面領域の下において受けるのに望ましい照射量に応じて適合される、方法。

IPC (5件)：

H05K 3/10 ( 200 6.01) ,  H05K 3/00 ( 200 6.01) ,  H05K 1/02 ( 200 6.01) ,  B23K 26/066 ( 201 4.01) ,  B23K 26/073 ( 200 6.01)

FI (6件)：

H05K 3/10 C ,  H05K 3/10 E ,  H05K 3/00 N ,  H05K 1/02 J ,  B23K 26/066 ,  B23K 26/073