特許

J-GLOBAL ID：202203010171629890

高温耐酸化性が向上されたジルコニウム合金被覆管及びその製造方法

発明者： ジョン・ファン・パク ,  ヒョン・ギル・キム ,  ヤン・イル・ジョン ,  ドン・ジュン・パク ,  ビョン・クォン・チェ ,  ヨン・ホ・イ ,  ジェ・ホ・ヤン
出願人/特許権者： コリア アトミック エナジー リサーチ インスティテュート
代理人 (1件)： アクシス国際特許業務法人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：KR2018013879
特許番号：特許第6999810号
出願日： 2018年11月14日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 (a)Cr及びAlを含むターゲットを製造するステップ;及び (b)前記ターゲットに電流及びバイアス電圧を印加するアークイオンプレーティングを通じてジルコニウム合金被覆管上にCr-Al薄膜を蒸着させるステップを含み、 前記ターゲット内のAl含量は、7重量%~23重量%であり、前記ステップ(b)で、印加された電流は、30A~120A、バイアス電圧は、100V~400Vであり、前記ステップ(b)で、蒸着時の作動圧力を5mTorr~50mTorrに維持し、前記ステップ(b)で、蒸着された薄膜の算術平均粗さ(arithmeticalaverage roughness;Ra)は、5μm以下である ことを特徴とする、高温耐酸化性が向上されたジルコニウム合金被覆管の製造方法。

IPC (4件)：

G21C 3/06 ( 200 6.01) ,  C23C 14/14 ( 200 6.01) ,  C23C 14/24 ( 200 6.01) ,  G21C 3/07 ( 200 6.01)

FI (4件)：

G21C 3/06 210 ,  C23C 14/14 D ,  C23C 14/24 F ,  G21C 3/07 100