特許
J-GLOBAL ID：202203011572483720
弾性波素子
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：JP2018038985
特許番号：特許第7073392号
出願日： 2018年10月19日
請求項（抜粋）：
【請求項1】複数の電極指を含むIDT電極と、上面に前記IDT電極が位置しており、前記複数の電極指の繰り返し間隔の2倍で定義される波長をλとすると0.35λ未満の厚みである、タンタル酸リチウム単結晶からなり、そのオイラー角が(90±0.5,90±1,20~50)である圧電層と、厚みがλ以上であり、横波音速V(m/s)が5800m/s以上であり、前記圧電層の下面に直接または間接的に接合された第1面を備える単層の基板と、を備え、前記基板は、前記第1面と対向する第2面を備え、前記第2面に直接または間接的に接合された支持基板をさらに備え、前記圧電層の厚みと、前記IDT電極の厚みとの関係が、図7に濃色部及び淡色部の塗りつぶしで示す範囲R1にある、弾性波素子。
IPC (1件)：
FI (1件)：
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