特許
J-GLOBAL ID：202203011688666015
探索装置、探索方法及び製造システム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
稲葉 良幸
, 大貫 敏史
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-036707
公開番号（公開出願番号）：特開2019-152986
特許番号：特許第7023501号
出願日： 2018年03月01日
公開日（公表日）： 2019年09月12日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 製造物を製造する製造装置の稼働条件を定める複数のパラメータを特定の値に設定して前記製造装置を稼働させる稼働制御部と、 前記特定の値で前記製造装置を稼働させた場合に製造された前記製造物を分析した分析値を取得する取得部と、 前記分析値に基づいて、前記特定の値で前記製造装置を稼働させた結果を評価する目的関数の値を算出する第1算出部と、 前記目的関数の値に基づいて、前記複数のパラメータを任意の値に設定して前記製造装置を稼働させた場合に、前記目的関数の値を改善することができる確率及びその不確実性を評価する獲得関数の値を算出する第2算出部と、 前記獲得関数の値に基づいて、前記稼働制御部に設定させる前記複数のパラメータの値を決定する決定部と、前記複数のパラメータの値が、前記複数のパラメータに関する所定の条件を満たすか否かに応じて前記獲得関数の値を補正する補正部と、 を備える探索装置。
IPC (2件)：
G05B 23/02 ( 200 6.01)
, G05B 19/418 ( 200 6.01)
G05B 23/02 F
, G05B 19/418 Z
