特許
J-GLOBAL ID：202203011857002938
蒸着装置及び蒸着方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
特許業務法人南青山国際特許事務所
, 大森 純一
, 高橋 満
, 中村 哲平
, 日比野 幸信
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-019785
公開番号（公開出願番号）：特開2019-137877
特許番号：特許第7051471号
出願日： 2018年02月07日
公開日（公表日）： 2019年08月22日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 真空容器と、 前記真空容器内に設けられ、蒸着材料が収容される蒸着源と、 前記蒸着源に対向する水晶振動子と、前記水晶振動子を遮蔽可能なシャッタとを有する膜厚センサと、 前記水晶振動子に堆積する蒸着材料の蒸着速度を定期的に前記シャッタを開けて検知することによって、基板に形成される前記蒸着材料の膜厚を制御する制御装置と を具備し、 前記制御装置は、 前記シャッタを前記定期的に開けた後に、前記水晶振動子によって検知された前記蒸着速度の変化量を算出し、前記変化量が目的値である場合には、前記シャッタを閉じて、前記蒸着速度に基づいて前記基板に形成される前記蒸着材料の前記膜厚を制御し、前記水晶振動子の共振周波数の変動の要因によって前記変化量が目的値でないと判断した場合には、前記シャッタを開けた後の定められた許容時間内で、前記水晶振動子によって前記蒸着速度を再検知し、再検知された前記蒸着速度の変化量が目的値であるか否かの判断を行う 蒸着装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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