特許

J-GLOBAL ID：202203012097400730

フレキシブル配管および温度制御システム

発明者： 大槻 興平 ,  三ツ森 章祥 ,  鎌田 紘司
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人酒井国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-012696
公開番号（公開出願番号）：特開2019-132296
特許番号：特許第6991870号
出願日： 2018年01月29日
公開日（公表日）： 2019年08月08日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 金属製のベローズ管と、 前記ベローズ管の内側に配置され、流体が流れる内側の表面が滑らかである可撓性チューブとを備え、 前記可撓性チューブの内側の少なくとも一部は、導電性を有する材料によりコーティングされており、 前記可撓性チューブの内側コーティングは、前記ベローズ管に導通していることを特徴とするフレキシブル配管。

IPC (4件)：

F16L 11/15 ( 200 6.01) ,  F16L 11/127 ( 200 6.01) ,  F16L 27/12 ( 200 6.01) ,  F16L 55/00 ( 200 6.01)

FI (4件)：

F16L 11/15 ,  F16L 11/127 ,  F16L 27/12 A ,  F16L 55/00 F

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 可撓管装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-072203   出願人：国産ラセン管株式会社
• 加熱部、基板処理装置、及び半導体装置の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2016-175856   出願人：株式会社日立国際電気, 株式会社東京技術研究所