特許
J-GLOBAL ID:202203013195950388
真空ポンプ起動制御システム、コントローラ、情報サーバ、真空ポンプ起動制御方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
山下 託嗣
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2018-203163
公開番号(公開出願番号):特開2020-070727
特許番号:特許第7035959号
出願日: 2018年10月29日
公開日(公表日): 2020年05月07日
請求項(抜粋):
【請求項1】 起動対象の真空ポンプ本体から個体識別情報を取得する取得部と、 登録されている起動許可すべき複数の真空ポンプ本体の個体識別情報の中で、前記取得部で取得した個体識別情報と一致する個体識別情報が登録されているか否かを判定する判定部と、 前記判定部によって一致する個体識別情報が登録されていると判定された場合、前記起動対象の真空ポンプ本体の起動を許可し、前記判定部によって一致する個体識別情報が登録されていないと判定されると、前記起動対象の真空ポンプ本体の起動を禁止する許可部とを備え、前記取得部は、前記起動対象の真空ポンプ本体から、前記個体識別情報に加えてポンプ分解履歴情報を取得し、前記判定部は、一致する個体識別情報が登録されていると判定した場合、前記取得部が取得した分解履歴情報が、前記個体識別情報に対応付けて登録されているポンプ分解履歴情報に一致するか否かをさらに判定し、取得した分解履歴情報が、前記個体識別情報に対応付けて登録されているポンプ分解履歴情報に一致すると判定された場合、前記許可部は、前記起動対象の真空ポンプ本体の起動を許可し、取得した分解履歴情報が、前記個体識別情報に対応付けて登録されているポンプ分解履歴情報に一致しないと判定された場合、前記許可部は、前記起動対象の真空ポンプ本体の起動を禁止する、 真空ポンプ起動制御システム。
IPC (1件):
FI (1件):
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