特許

J-GLOBAL ID：202203013288403816

マイクロ気体輸送デバイス

発明者： 廖 家▲いく▼ ,  陳 世昌 ,  廖 鴻信 ,  黄 ▲けい▼峰 ,  韓 永隆
出願人/特許権者： 研能科技股▲ふん▼有限公司
代理人 (1件)： 新保 斉
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-022762
公開番号（公開出願番号）：特開2018-135881
特許番号：特許第7013271号
出願日： 2018年02月13日
公開日（公表日）： 2018年08月30日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 排気板と、共振片と、前記共振片に対応して設置する圧電アクチュエータと、ハウジングと、を包含し、 前記排気板は、前記排気板の第一表面に設置される排気管と、気体を排出するために前記排気管中、並びに前記排気板を貫通して設置される排気口及び前記排気板の第二表面上に設置される複数個の凸出部と、を有し、複数個の前記凸出部は、すべての隣り合う前記凸出部と、の間に、凹みを定義とする少なくともひとつの通気口部を形成し、 前記共振片は、前記排気板の前記排気口に対応する中空孔洞を有し、 前記ハウジングは、側壁及び底板を有し、前記側壁は、前記底板の縁を囲繞するように前記底板上に凸設することで、収納空間を形成し、且つ、前記共振片及び前記圧電アクチュエータは、この収納空間に設置し、 そのうち、上述の前記排気板と、前記共振片と、前記圧電アクチュエータ及び前記ハウジングと、は対応する位置に設置することで、前記排気板と前記共振片と、の間に合流チャンバを、前記ハウジングと前記共振片と、の間に第一チャンバを、形成し、前記圧電アクチュエータが駆動を受け、吸気作業を実施する際、気体は前記排気板の少なくとも一つの前記通気口部から前記合流チャンバに流入し集合すると共に、前記共振片の中にある中空孔洞から第一チャンバへ流入し、一時的に保存され、前記圧電アクチュエータが駆動を受け、排気作業を実施する際、気体は、前記第一チャンバから前記共振片の前記中空孔洞を通過し、前記合流チャンバへ流れ込み、前記排気口より排出されることを特徴とするマイクロ気体輸送デバイス。

IPC (2件)：

F04B 45/047 ( 200 6.01) ,  F04B 45/04 ( 200 6.01)

FI (2件)：

F04B 45/047 C ,  F04B 45/04 D

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 圧電ポンプを有する電子機器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-036410   出願人：ソニー株式会社
• マイクロブロア
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-176204   出願人：株式会社村田製作所