特許
J-GLOBAL ID：202203013358844360
ポリシリコンの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人HARAKENZO WORLD PATENT & TRADEMARK
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：JP2018021363
特許番号：特許第7023951号
出願日： 2018年06月04日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 反応器を用いてジーメンス法によってポリシリコンを製造する工程を含むポリシリコンの製造方法であって、 上記反応器は、排ガス処理設備と、排ガス配管を介して接続されており、 上記反応器と上記排ガス処理設備とは、上記排ガス配管に設けられた遮断弁によって切り離し可能に接続されており、 上記遮断弁は、上記反応器の排ガス出口の近傍に設けられており、 上記排ガス配管の、上記反応器の排ガス出口と上記遮断弁との間において、シェルアンドチューブ型の冷却器により排ガスを冷却する冷却工程を含み、 上記冷却工程において、上記遮断弁における排ガスの温度を200°C以上、500°C以下に調整することを特徴とするポリシリコンの製造方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
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