特許
J-GLOBAL ID：202203013467936622
形状測定装置および形状測定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人ドライト国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-128757
公開番号（公開出願番号）：特開2020-008390
特許番号：特許第7028086号
出願日： 2018年07月06日
公開日（公表日）： 2020年01月16日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 測定対象物の測定面の形状を測定する形状測定装置において、 前記測定面に線状光を照射する線状光源と、 前記線状光による前記測定面上の光切断線を含む所定領域を撮像し、取得した撮像画像の一部領域を光切断線抽出画像として抽出する第1撮像部と、 少なくとも前記光切断線抽出画像の撮像領域を含み、かつ、前記光切断線抽出画像の撮像領域よりも広域な前記測定面の領域を撮像した広域撮像画像を取得する第2撮像部と、 前記光切断線抽出画像に基づいて前記測定対象物の表面形状を算出する演算処理装置と、 を有し、 前記演算処理装置は、 前記広域撮像画像から光切断線位置を測定する光切断線位置測定部と、 前記第1撮像部で前記光切断線抽出画像内から前記光切断線が外れる場合、前記撮像画像から前記光切断線抽出画像を抽出する抽出位置を、前記光切断線位置に基づいて、前記光切断線抽出画像内に前記光切断線が含まれる抽出位置に変更させる撮像視野制御部と、 を備える、形状測定装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
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