特許

J-GLOBAL ID：202203013793754305

撮像装置

発明者： 矢野 真麻 ,  千葉 寛幸
出願人/特許権者： 株式会社日立ハイテク
代理人 (1件)： 特許業務法人平木国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：JP2018046636
特許番号：特許第7042361号
出願日： 2018年12月18日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 複数の切片によって構成された試料の画像を撮像する撮像装置であって、 前記試料の画像を表す画像信号を生成する撮像部、 前記画像信号を用いて前記試料の画像を生成するコントローラ、 前記画像のなかの座標を指定する第1指定入力を受け取るインターフェース、 を備え、 前記コントローラは、前記試料の画像として、第1画像、前記第1画像よりも狭い範囲の第2画像、および前記第2画像よりも解像度が高い第3画像を生成し、 前記インターフェースは、前記第1画像のうち、第1試料切片の第1特徴点の座標、前記第1試料切片の部分領域である第1観察領域の座標、および第2試料切片の第2特徴点の座標を指定する前記第1指定入力を受け取り、 前記コントローラは、前記第1特徴点と前記第1観察領域との間の対応関係にしたがって、前記第2試料切片上の前記第1観察領域に対応する第2観察領域の座標を特定し、 前記コントローラは、前記第1観察領域の前記第2画像と前記第2観察領域の前記第2画像を生成するとともに、前記第1観察領域の前記第2画像と前記第2観察領域の前記第2画像との間のずれを補正し、 前記コントローラは、前記第1観察領域の前記第2画像と前記第2観察領域の前記第2画像との間の前記ずれを反映した上で、前記第1観察領域内において前記第3画像を生成するとともに前記第2観察領域内において前記第3画像を生成することにより、前記第1試料切片の前記第3画像と前記第2試料切片の前記第3画像との間の位置合わせを実施する ことを特徴とする撮像装置。

IPC (3件)：

H01J 37/22 ( 200 6.01) ,  H01J 37/20 ( 200 6.01) ,  H01J 37/244 ( 200 6.01)

FI (3件)：

H01J 37/22 502 H ,  H01J 37/20 D ,  H01J 37/244