特許
J-GLOBAL ID：202203013821634000
ウエーハの加工方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
小野 尚純
, 奥貫 佐知子
, 鹿角 剛二
, 金子 吉文
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-012815
公開番号（公開出願番号）：特開2019-133990
特許番号：特許第7009233号
出願日： 2018年01月29日
公開日（公表日）： 2019年08月08日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 複数のデバイスが第一の方向の分割予定ラインと該第一の方向に交差する第二の方向の分割予定ラインとによって区画され表面に形成されたウエーハを個々のデバイスに分割するウエーハの加工方法であって、 ウエーハを保持する保持面を有するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを切削する切削ブレードを着脱自在に備えた切削手段と、該チャックテーブルと該切削手段とを相対的にX軸方向に加工送りするX軸送り手段と、該チャックテーブルと該切削手段とをX軸方向に直交するY軸方向に相対的に割り出し送りするY軸送り手段と、を少なくとも備えた加工装置を準備する加工装置準備工程と、 該切削手段に研削砥石を装着する研削砥石装着工程と、 該X軸送り手段を作動して該研削砥石で該チャックテーブルの保持面を研削すると共に該Y軸送り手段を作動して該研削砥石の幅を超えない範囲で割り出し送りして該保持面を研削することにより、該チャックテーブルをX軸方向に加工送りした際に、切削ブレードで切削する加工位置では該チャックテーブルの揺動が0となる保持面を形成する保持面研削工程と、 該切削手段から該研削砥石を外し切削ブレードを装着する切削ブレード装着工程と、 ウエーハに形成された該第一の方向の分割予定ラインをX軸方向に平行に位置づけてから、該チャックテーブルの保持面にウエーハを保持する第一の保持工程と、 該第一の方向の分割予定ラインをX軸方向に切削すると共にY軸方向に割り出し送りして該第一の方向の分割予定ラインを切削する第一の切削工程と、 該チャックテーブルからウエーハを離脱させウエーハに形成された該第二の方向の分割予定ラインをX軸方向に平行に位置づけてから、該チャックテーブルの保持面にウエーハを保持する第二の保持工程と、 該第二の方向の分割予定ラインをX軸方向に切削すると共にY軸方向に割り出し送りして該第二の方向の分割予定ラインを切削する第二の切削工程と、を順に実施するウエーハの加工方法。
IPC (6件)：
H01L 21/301 ( 200 6.01)
, B24B 27/06 ( 200 6.01)
, B24B 7/02 ( 200 6.01)
, B24B 41/06 ( 201 2.01)
, B24B 45/00 ( 200 6.01)
, B24B 47/02 ( 200 6.01)
H01L 21/78 F
, H01L 21/78 N
, B24B 27/06 M
, B24B 7/02
, B24B 41/06 L
, B24B 45/00 C
, B24B 47/02
