特許
J-GLOBAL ID：202203013877721763
キャリア寿命測定方法及びキャリア寿命測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
長谷川 芳樹
, 黒木 義樹
, 柴山 健一
, 諏澤 勇司
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-025799
公開番号（公開出願番号）：特開2019-145553
特許番号：特許第7000198号
出願日： 2018年02月16日
公開日（公表日）： 2019年08月29日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 測定対象物におけるキャリア寿命を計測するキャリア寿命測定方法であって、 前記測定対象物に向けて、計測光と、複数の周波数で強度変調された刺激光とを照射する照射ステップと、 前記測定対象物からの反射光あるいは透過光の強度を検出して検出信号を出力する出力ステップと、 前記複数の周波数のうちの計測対象領域の不純物濃度に対応する周波数を含む変調信号に対する前記検出信号の位相遅れを検出し、前記位相遅れを基に前記測定対象物におけるキャリア寿命の分布を示す画像データを生成する生成ステップと、を備えるキャリア寿命測定方法。
IPC (2件)：
H01L 21/66 ( 200 6.01)
, G01N 21/00 ( 200 6.01)
H01L 21/66 M
, G01N 21/00 B
