特許

J-GLOBAL ID：202203014147814150

テラヘルツ波のハーフミラー及び該ハーフミラーを用いた照射装置

発明者： 小山 裕 ,  田邉 匡生 ,  五井 広一 ,  辻 敬二
出願人/特許権者： ローレル精機株式会社
代理人 (3件)： 平山 一幸 ,  柿本 恭成 ,  近藤 充和
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-167385
公開番号（公開出願番号）：特開2020-041827
特許番号：特許第7015023号
出願日： 2018年09月06日
公開日（公表日）： 2020年03月19日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 シリコンウェハーからなり、該シリコンウェハーへ入射するテラヘルツ波に対する透過率又は反射率を、該シリコンウェハーのキャリア密度により設定する、テラヘルツ波のハーフミラー。

IPC (2件)：

H01Q 15/14 ( 200 6.01) ,  G01N 21/892 ( 200 6.01)

FI (2件)：

H01Q 15/14 B ,  G01N 21/892 A