特許
J-GLOBAL ID：202203014848757941
保持具およびステージ装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
稲葉 良幸
, 大貫 敏史
, 江口 昭彦
, 内藤 和彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-059600
公開番号（公開出願番号）：特開2017-173140
特許番号：特許第6990965号
出願日： 2016年03月24日
公開日（公表日）： 2017年09月28日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 静止部とステージ装置の可動部とに連結される紐状部材の保持具であって、 前記保持具は、前記静止部または前記可動部の一方に設けられ、 前記紐状部材は、前記保持具に拘束される拘束部と、前記静止部または前記可動部の他方に向かって延び、前記可動部の移動に伴い変形可能である非拘束部と、前記拘束部と前記非拘束部との境界部と、を有し、 前記境界部に面する第1樹脂部を有する第1部材と、 前記境界部に面する第2樹脂部を有する第2部材と、を備え、前記第1部材は、前記紐状部材の長手方向に沿った方向において前記第1樹脂部に隣接する金属部をさらに含み、前記第1樹脂部および前記金属部と、前記第2部材とで挟み込むことにより、前記紐状部材を保持することを特徴とする保持具。
IPC (2件)：
G01B 21/00 ( 200 6.01)
, H01L 21/68 ( 200 6.01)
G01B 21/00 L
, H01L 21/68 K
