特許

J-GLOBAL ID：202203015468830170

対象物に対して移動体を直線移動させる装置および方法

発明者： 瀬山 耕平 ,  歌野 哲弥 ,  野口 勇一郎
出願人/特許権者： 株式会社新川
代理人 (1件)： 特許業務法人YKI国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：JP2018031744
特許番号：特許第7072264号
出願日： 2018年08月28日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 対象物に対して移動体を直線移動させる装置であって、 前記対象物に対して直線移動し、移動方向に既知の間隔で配置された第1位置と第2位置とを有する前記移動体と、 前記移動体の前記移動方向に沿って配置され、前記移動方向に沿って所定ピッチで複数の目盛が設けられたスケールと、 前記移動体の前記第1位置に配置され、前記第1位置に対する前記スケールの第1目盛番号を検出する第1検出部と、 前記移動体の前記第2位置に配置され、前記第2位置に対する前記スケールの第2目盛番号を検出する第2検出部と、 前記移動体の移動量を制御する制御部と、を備え、 前記制御部は、 前記移動体を前記スケールに沿って移動開始位置から移動終了位置まで移動させながら、逐次、前記第1検出部及び前記第2検出部で前記第1目盛番号及び前記第2目盛番号を検出し、前記第1目盛番号と前記第2目盛番号との差に前記目盛のピッチを掛けて前記第1検出部と前記第2検出部との間の前記スケール上の距離を算出し、算出した前記スケール上の距離に対する前記第1検出部と前記第2検出部の既知の前記間隔の比として前記スケールの位置補正係数を算出すること、 を特徴とする装置。

IPC (3件)：

H01L 21/60 ( 200 6.01) ,  H01L 21/52 ( 200 6.01) ,  H01L 21/68 ( 200 6.01)

FI (3件)：

H01L 21/60 311 T ,  H01L 21/52 F ,  H01L 21/68 F