特許
J-GLOBAL ID:202203015502517185

表面トポグラフィ測定システム

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件): 古谷 聡 ,  大西 昭広 ,  西山 清春 ,  細井 玲
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):US2018021217
特許番号:特許第7033608号
出願日: 2018年03月06日
請求項(抜粋):
【請求項1】 剛性の光学的に透明な材料を含む内部を有する光学素子; 前記光学素子の第1の表面、ここで前記第1の表面は前記光学素子を通してイメージを取り込むための光学的に透明な表面を備えた領域を含み; 前記第1の表面に対向する前記光学素子の第2の表面; 前記第1の表面および前記第2の表面を通過する前記光学素子の中心軸; 前記第2の表面に配置されそして前記第2の表面に取り付けられた光学的に透明なエラストマーの層、前記第2の表面の第1の屈折率に整合した第2の屈折率を有する前記光学素子の前記第2の表面に隣接する前記層の第1の側面、および所定の反射率を有する光学コーティングを有する前記光学素子の前記第2の表面に対向する前記層の第2の側面; 前記第1の表面と前記第2の表面との間の前記光学素子の前記内部の周りの側壁、ここで前記側壁は前記側壁を通る前記第2の表面の照明を制御するように構成された1つ以上の光整形特徴を含み;ならびに 撮像システムの固定具内で前記光学要素の所定の位置を強制するための前記光学要素の外側にある機械的キー、ここで前記機械的キーは、前記撮像システムの前記固定具内で前記光学要素の固有の回転配向を強制するために前記中心軸の周りに少なくとも1つの半径方向に非対称な特徴を含む;を含む装置。
IPC (5件):
G01N 21/27 ( 200 6.01) ,  G02B 3/00 ( 200 6.01) ,  G03B 11/00 ( 202 1.01) ,  G03B 17/14 ( 202 1.01) ,  G01B 11/30 ( 200 6.01)
FI (5件):
G01N 21/27 A ,  G02B 3/00 A ,  G03B 11/00 ,  G03B 17/14 ,  G01B 11/30 Z

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