特許

J-GLOBAL ID：202203016297164793

温度監視装置、熱処理装置及び温度監視方法

発明者： 山口 達也 ,  菊池 康晃
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (2件)： 伊東 忠重 ,  伊東 忠彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-088379
公開番号（公開出願番号）：特開2019-195016
特許番号：特許第7023172号
出願日： 2018年05月01日
公開日（公表日）： 2019年11月07日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 第1の温度から第2の温度に変化する温度を監視する温度監視装置であって、 前記第1の温度から前記第2の温度への温度変化の開始時からの経過時間と、前記温度変化の軌跡に基づいて算出される時定数と、に基づく一次遅れ関数により温度監視波形を算出する算出部と、 前記算出部が算出した前記温度監視波形に基づいて、前記第1の温度から前記第2の温度に変化する全期間の温度を監視する監視部と、 を有し、前記温度監視波形は、1つの数式で表される第1波形であり、監視上限温度を規定する第1波形を含む、 温度監視装置。

IPC (3件)：

H01L 21/31 ( 200 6.01) ,  H01L 21/324 ( 200 6.01) ,  G01K 7/00 ( 200 6.01)

FI (3件)：

H01L 21/31 E ,  H01L 21/324 T ,  G01K 7/00 321 J

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 半導体試験装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-186751   出願人：株式会社アドバンテスト