特許

J-GLOBAL ID：202203016666562668

感光性樹脂積層体

発明者： 宮崎 純
出願人/特許権者： 旭化成株式会社
代理人 (5件)： 青木 篤 ,  三橋 真二 ,  中村 和広 ,  齋藤 都子 ,  三間 俊介
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：JP2018046833
特許番号：特許第7068340号
出願日： 2018年12月19日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 支持フィルムと、前記支持フィルム上に形成された、感光性樹脂組成物層と、を備える感光性樹脂積層体であって、 前記支持フィルムは微粒子を含み、前記支持フィルムを落射型レーザー顕微鏡で13.5mm2の面積にて観測した際の光学異常領域の合計面積比率が300ppm以下である領域を含み、 前記光学異常領域は空洞を含む、感光性樹脂積層体。

IPC (3件)：

G03F 7/09 ( 200 6.01) ,  G03F 7/004 ( 200 6.01) ,  H05K 3/06 ( 200 6.01)

FI (3件)：

G03F 7/09 501 ,  G03F 7/004 512 ,  H05K 3/06 J