誘電エラストマアクチュエータの製造方法、及び、誘電エラストマアクチュエータ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：杉村憲司 , 杉村光嗣 , 鈴木治 , 伊藤怜愛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2020-169884
公開番号（公開出願番号）：特開2022-061748
出願日： 2020年10月07日
公開日（公表日）： 2022年04月19日
要約：

【課題】膜体が非平板状であるような誘電エラストマアクチュエータを得ることができる誘電エラストマアクチュエータの製造方法、及び、膜体が非平板状であるような誘電エラストマアクチュエータを、提供する。【解決手段】本発明の誘電エラストマアクチュエータの製造方法は、液状の誘電性エラストマEにモールドMをディップし、その後、モールドを誘電性エラストマから引き上げる、ディップステップと、ディップステップの後、モールド上の誘電性エラストマを硬化させて、モールド上で誘電性エラストマからなる膜体10を得る、硬化ステップと、硬化ステップの後、モールド上の膜体からモールドを除去して、非平板状の3次元形状を有する膜体を得る、モールド除去ステップと、モールド除去ステップの後、膜体の両面上にそれぞれ第1電極11及び第2電極12を設け、誘電エラストマアクチュエータ1を得る、組立ステップと、を含む。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

誘電エラストマアクチュエータの製造方法であって、液状の誘電性エラストマにモールドをディップし、その後、前記モールドを前記誘電性エラストマから引き上げる、ディップステップと、前記ディップステップの後、前記モールド上の前記誘電性エラストマを硬化させて、前記モールド上で前記誘電性エラストマからなる膜体を得る、硬化ステップと、前記硬化ステップの後、前記モールド上の前記膜体から前記モールドを除去して、非平板状の3次元形状を有する前記膜体を得る、モールド除去ステップと、前記モールド除去ステップの後、前記膜体の両面上にそれぞれ第1電極及び第2電極を設け、前記誘電エラストマアクチュエータを得る、組立ステップと、を含む、誘電エラストマアクチュエータの製造方法。

IPC (5件)：

H02N 11/00 , B29C 64/106 , B29C 64/40 , B33Y 10/00 , B29C 41/14

FI (5件)：

H02N11/00 Z , B29C64/106 , B29C64/40 , B33Y10/00 , B29C41/14

Fターム (17件)：

4F205AA45 , 4F205AC05 , 4F205AG06 , 4F205AH33 , 4F205GA08 , 4F205GB01 , 4F205GC01 , 4F205GF01 , 4F205GN29 , 4F213AA45 , 4F213AH33 , 4F213WA03 , 4F213WA25 , 4F213WB01 , 4F213WL02 , 4F213WL62 , 4F213WL96

引用特許：

出願人引用 (1件)

誘電エラストマーアクチュエータ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2018-192467 出願人：豊田合成株式会社

審査官引用 (4件)

機械感覚性アクチュエータアレイ
公報種別：公表公報出願番号：特願2011-549108 出願人：オークランド・ユニサービシス・リミテッド
パターン化されたスタンプの製造方法、パターン化されたスタンプ及びインプリント方法
公報種別：公表公報出願番号：特願2017-531580 出願人：コーニンクレッカフィリップスエヌヴェ
流体アクチュエータ、およびカメラモジュール
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-051780 出願人：富士フイルム株式会社

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