特許

J-GLOBAL ID：202203017744142871

汚染ガスを焼却するための放射バーナー

発明者： シーリー アンドリュー ジェームズ ,  プライス ダンカン マイケル
出願人/特許権者： エドワーズ リミテッド
代理人 (6件)： 田中 伸一郎 ,  須田 洋之 ,  松下 満 ,  倉澤 伊知郎 ,  山本 泰史 ,  山本 航介
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：GB2016050826
特許番号：特許第6996980号
出願日： 2016年03月23日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 製造工程ツールからの流出ガスストリームを処理するための放射バーナーであって、 各処理チャンバが、前記流出ガスストリームをその内部で処理するためにその処理チャンバに供給するための流出ストリーム入口を有する複数の処理チャンバと、 1対の隣接する処理チャンバを分離し、処理チャンバの各隣接する対を定める分離構造と、を備え、 前記分離構造は、処理材料が処理チャンバの前記隣接する対の両方の中に導入されるために通過する1対の小孔壁を含み、各小孔壁が、処理チャンバの該隣接する対のうちの一方を少なくとも部分的に定め、 前記分離構造は、前記小孔壁の対を接続する小孔接続部分を備え、 前記接続部分は、湾曲している、 ことを特徴とする放射バーナー。

IPC (2件)：

F23G 7/06 ( 200 6.01) ,  F23D 14/58 ( 200 6.01)

FI (3件)：

F23G 7/06 101 C ,  F23G 7/06 ZAB D ,  F23D 14/58 Z