静電チャック装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：西澤和純 , 佐藤彰雄 , 萩原綾夏
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-182170
公開番号（公開出願番号）：特開2020-053576
特許番号：特許第7047694号
出願日： 2018年09月27日
公開日（公表日）： 2020年04月02日
請求項（抜粋）：

【請求項1】一主面に板状試料を載置する載置面を有するとともに静電吸着用電極を備えた静電チャック部と、前記静電チャック部に対し前記載置面とは反対側に配置され前記静電チャック部を冷却するベース部と、を有し、前記ベース部は、冷媒が流動する流路を内部に有するベース本体と、前記流路内に設けられ、前記ベース本体の前記静電チャック部側の表面の温度を制御する温度制御部と、を有し、前記温度制御部は、前記流路の幅方向に設けられた壁部材であり、前記壁部材は、前記流路の幅方向に延在して設けられた第1部材と、前記第1部材から前記冷媒の流動方向の後方に延在して設けられた第2部材と、を有する静電チャック装置。

IPC (3件)：