光デバイス及びその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：田村爾 , 杉村純子 , 藤松正雄
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-065384
公開番号（公開出願番号）：特開2019-174750
特許番号：特許第7035719号
出願日： 2018年03月29日
公開日（公表日）： 2019年10月10日
請求項（抜粋）：

【請求項1】基板上に、下部電極層、下部クラッド層、コア層、上部クラッド層、及び上部電極層が順次積層された構成を備え、該コア層がEOポリマーで形成された光デバイスの製造方法において、該下部電極層は、該コア層のポーリング位置に対応した、少なくとも分離した複数の電極を備え、該上部クラッド層の上側に設けられた共通電極は、該コア層に形成される光導波路の全体を覆うように配置されており、該コア層を加熱しながら電圧を印加するポーリング処理する際には、前記複数の電極と、前記複数の電極に対応し、該共通電極とを利用して、該コア層のポーリング処理をする方向を選択的に異なる方向に設定することを特徴とする光デバイスの製造方法。

IPC (2件)：