低消費電力な超長ストローク熱駆動MEMSアクチュエーターの開発

体系的課題番号：JPMJAX21KF
実施期間：2021 - 2023
実施機関 (1件)：
研究代表者： ( , 大学院工学研究科, 特別研究員 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJAX21KF
研究概要：

膨大な熱エネルギーを消費してきた社会がカーボンニュートラル社会へとシフトするためには、高効率に熱エネルギーを機械エネルギー変換するハードウェアが不可欠です。本研究では、相変化ナノ薄膜と熱膨張ナノ薄膜を融合させた低消費電力で超長ストロークな熱駆動MEMSアクチュエーターを開発し、熱エネルギーを超高効率に機械エネルギーに変換する強靭化マイクロマシンの設計・製造基盤技術の創出に挑戦します。

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研究制度：＞＞
上位研究課題：リアル空間を強靭にするハードウェアの未来
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

報告書等：

2022 年次報告書
2021 年次報告書

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