ガラス表面の高強度化と金属薄膜との密着性向上

実施期間：2014 - 2015
実施機関 (1件)：
研究責任者： ( , 医学工学総合研究部, 助教 )
研究概要：

本研究では,金属酸化物層を用いてガラス表面に金属原子を拡散させることによるガラス表面の高強度化とCu薄膜とガラス基板の密着性向上に取り組んだ.金属酸化物層にはZnOならびにIn2O3を用い,ガラス表面への金属原子拡散のためのアニール条件,金属酸化物層堆積手法およびガラス基板種の影響を調べた.ZnO層ならびにIn2O3層のどちらを用いても適正な条件のアニール処理を施すことによって金属原子をガラス表面に拡散させることができ,拡散層形成後にPt微粒子触媒を付与することによって常温でCu薄膜を堆積したとしても高密着性なCu/ガラス構造を作製できることが明らかになった.

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研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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