研課題
J-GLOBAL ID：202204010381663563
研究課題コード：14541124
新原理による超高速電力用半導体ウェーハ品質評価技術の研究
実施期間：2014 - 2015
実施機関 (1件)：
研究責任者：
(
, 大学院工学研究院, 特任教授 )
研究概要：
我々が実証した新原理を用いて,全く新しいシリコンウェーハのバルクキャリア寿命評価技術の実用化を目指す.本技術では,定常赤外レーザ励起によってウェーハ内部に発生させた自由キャリアの濃度分布をもう一つの赤外レーザビームの屈折を通して計測する.本研究開発では,この技術開発の中で最も重要となる次の5個の目標を設定した.(1) 画像素子で検出されるレーザビーム屈折を観測量として明確に定義し,数値化する.(2) キャリア寿命のデータ1個を一秒以内の装置動作で取得可能にする.(3)屈折角分解能として1.3×10-5ラジアンを実現する.(4)フォトルミネッセンス強度分布観測機能を付加する.これらの目標は,研究実施期間終了までにほぼ完全にクリアされた.(5)知的財産権確保の目標については,元特許の外国出願によって達成された.実用化に向けた次の技術移転ステージに進むための目標を抽出し,明確化できた.
タイトルに関連する用語 (4件)：
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