研課題
J-GLOBAL ID：202204012449927710
研究課題コード：21468088
大気圧プラズマジェット加工法が拓く自由曲面デバイス
体系的課題番号：JPMJAX21KD
実施期間：2021 - 2023
実施機関 (1件)：
研究代表者：
(
, 工学部, 助教 )
DOI：
https://doi.org/10.52926/JPMJAX21KD
研究概要：
開発する微細加工システムは、ナノ・マイクロ大気圧プラズマジェットを用いてサブミクロンの加工分解能で自由曲面形状を創成できることに新規性がある。開発するシステムを用いて自由曲面MEMSといった未踏分野に挑戦するため、学術的価値の高い独創性のある研究である。多くのMEMSの分解能や可動範囲などの性能を極限的に向上させことができるため波及効果は大きく、MEMSの付加価値を飛躍的に高めることができる。
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上位研究課題：
リアル空間を強靭にするハードウェアの未来
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