超高性能プラズマ制御技術に基づいた極限真空ポンプの事業化検証

体系的課題番号：JPMJST2134
実施期間：2021 - 2021
実施機関 (1件)：
研究代表者： ( , ヘリカル研究部, 准教授 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJST2134
研究概要：

超高性能プラズマ制御研究ではこれまで多くの極限技術が開発されており、それらを使った民生応用製品販売について事業化検証する。具体的には、高性能真空ポンプの製品販売事業と、細孔を制御した活性炭を真空ポンプの部品として供給する事業について検証する。

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研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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