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J-GLOBAL ID：202302229881358540   整理番号：23A2514339

4H-SiC基板表面におけるステップアンバンチング現象

Step unbunching phenomenon on 4H-SiC substrate surface

著者 (2件)： 榊原涼太郎 (名大 院) ,  乗松航 (名大 院)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 70th  ページ： ROMBUNNO.16p-PA05-2  発行年： 2023年02月27日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

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シソーラス用語： エッチング ,...

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分類 (2件)： その他の光デバイス  (BD06060O) ,  蛋白質・ペプチド一般  (EB03010N)

タイトルに関連する用語 (3件)： 4H-SiC ,  基板表面 ,  現象