特許
J-GLOBAL ID：202303004616984552
静電吸着部材、静電吸着装置、及び静電吸着部材の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (2件)：
西 和哉
, 磯野 富彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2021-144567
公開番号（公開出願番号）：特開2023-037788
出願日： 2021年09月06日
公開日（公表日）： 2023年03月16日
要約：
【課題】対象物に対する吸着力をさらに高め、対象物をより確実に保持することが可能な静電吸着部材、静電吸着装置、及び静電吸着部材の製造方法を提供すること。
【解決手段】静電吸着部材10は、誘電体により形成され、対象物100の表面100fに対向する第1側11aに対象物100の表面に倣って変形可能な接触面11fを有する接触部材11と、接触部材11において第1側11aとは反対側の第2側11bに設けられ、接触部材11に電圧を印加可能な電極部20と、を備え、電極部20は、絶縁層25を挟んで積層された複数層の電極21A、21Bを備える。
【選択図】図1
請求項（抜粋）：
誘電体により形成され、対象物の表面に対向する第1側に前記対象物の表面に倣って変形可能な接触面を有する接触部材と、
前記接触部材において前記第1側とは反対側の第2側に設けられ、前記接触部材に電圧を印加可能な電極部と、を備え、
前記電極部は、絶縁層を挟んで積層された複数層の電極を備える、静電吸着部材。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
前のページに戻る
