特許
J-GLOBAL ID:202303016919803940
信号処理装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
弁理士法人太陽国際特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2021-135102
公開番号(公開出願番号):特開2023-029036
出願日: 2021年08月20日
公開日(公表日): 2023年03月03日
要約:
【課題】ポンプ・プローブ法の測定において生じる誤差及び制限に係る問題を解決できる。
【解決手段】信号処理装置10は、乗算器21と、自動ゲイン制御器17とを有する。乗算器21は、プローブ光Prを試料に照射することにより得られる信号であるプローブ信号の信号強度と、参照光Rから得られる参照信号の信号強度とがバランスしていない時にプローブ信号の信号強度と参照信号の信号強度との差分として現れるノイズを、参照信号に乗算することにより誤差信号を得る。自動ゲイン制御器17は、誤差信号により、プローブ信号及び参照信号間の信号強度差を補正するように、プローブ信号を制御するためのゲインを自動的に調整する。
【選択図】図6
請求項(抜粋):
プローブ光を試料に照射することにより得られる信号であるプローブ信号の信号強度と、参照光から得られる参照信号の信号強度とがバランスしていない時に前記プローブ信号の信号強度と前記参照信号の信号強度との差分として現れるノイズを、前記参照信号に乗算することにより誤差信号を得る乗算器と、
前記乗算器により得た前記誤差信号により、前記プローブ信号及び前記参照信号間の信号強度差を補正するように、前記プローブ信号及び前記参照信号の少なくとも一方を制御するためのゲインを自動的に調整する自動ゲイン制御器と、
を含む信号処理装置。
IPC (3件):
G01N 21/27
, G01N 21/17
, G01N 21/65
FI (3件):
G01N21/27 Z
, G01N21/17 B
, G01N21/65
Fターム (16件):
2G043AA03
, 2G043EA03
, 2G043MA01
, 2G059AA05
, 2G059BB08
, 2G059EE01
, 2G059EE03
, 2G059FF03
, 2G059FF09
, 2G059GG06
, 2G059JJ03
, 2G059MM01
, 2G059MM05
, 2G059MM16
, 2G059MM17
, 2G059MM18
引用特許: