研課題
J-GLOBAL ID:202304001041897819  研究課題コード:22684163

真空内稼働センサデバイスの基盤技術整備とマルチモーダル化

体系的課題番号:JPMJTM22D1
実施期間:2022 - 2023
実施機関 (1件):
研究代表者: ( , 工学部, 教授 )
DOI: https://doi.org/10.52926/JPMJTM22D1
研究概要:
真空装置内で動作可能な小型無線センサの汎用化とマルチモーダル化を進め、真空装置を用いる半導体産業等のプロセスにおいて、装置内現象のデータ取得量を桁違いに増加させることに資する。ハードウェアの基盤整備を行い、プロセス状態変数量をその場自動検出し、装置内測定データと測定箇所を増加させ、状態可視化と機械学習用データ取得を促進する。
研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

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