難加工材料に均一なナノ周期構造体を効率よく作製できる技術の確立

体系的課題番号：JPMJTM22BS
実施期間：2022 - 2023
実施機関 (1件)：
研究代表者： ( , 大学院工学研究院, 准教授 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJTM22BS
研究概要：

サファイアは半導体デバイスの基材として広く使用されているものの、既存技術では微細加工が困難であった。本研究では、サファイアのような難加工材料表面に、周期200nm、アスペクト比が3以上でそろった均一なナノ構造体をシンプルな工程で効率よく作製する手法を開発する。

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研究制度：＞＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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