マイクロ波励起プラズマ処理によるシリコン窒化膜中水素濃度分布制御と電圧駆動型固体素子ニューロンの開発

体系的課題番号：JPMJTM22BL
実施期間：2022 - 2023
実施機関 (1件)：
研究代表者： ( , 理工学部電気電子通信工学科, 教授 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJTM22BL
研究概要：

不揮発性メモリをニューロンとすることで、低消費電力化、小型化、高速処理が可能な脳型コンピューティングの実現が期待されている。本研究では、電荷捕獲型メモリ素子を構成するシリコン窒化膜中の水素濃度分布を熱非平衡プラズマ処理により精密に制御することで固体素子ニューロンを実現し、低コスト、かつ高信頼なニューロモルフィックハードウェア開発への展開を目的とする。

, , , , , , , ,

研究制度：＞＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

前のページに戻る