研課題
J-GLOBAL ID：202304006772324895
研究課題コード：22688691
自己バイアス式集積化SAE-MEMSセンサの開発
体系的課題番号：JPMJTR22R5
実施期間：2022 - 2024
実施機関 (1件)：
研究責任者：
(
, 理工学部, 准教授 )
DOI：
https://doi.org/10.52926/JPMJTR22R5
研究概要：
Society 5.0では、物理センサの高感度化により、従来未計測の物理量を用いた新たなCyber-Physical空間も実現できる。MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)技術はセンサの小型化・低消費電力化に有用である一方、高感度化には素子材料変更・寸法拡大、バイアス電圧増大などが必要であり、他性能とトレードオフになる。そこで本提案は、SAE(Self-Assembled Electret)によりMEMS物理センサにバイアス電圧を印加し、MEMS素子と周辺回路の性能を維持しつつ、センサ高感度化を実現する自己バイアス式集積化SAE-MEMSセンサを開発する。
タイトルに関連する用語 (3件)：
タイトルに関連する用語
J-GLOBALで独自に切り出した研究課題タイトルの用語をもとにしたキーワードです
,
,
研究制度：
＞
＞
＞
研究所管機関：
前のページに戻る
