定盤トルクのリアルタイム計測を核としたSmart両面研磨機の開発

体系的課題番号：JPMJTM22CC
実施期間：2022 - 2023
実施機関 (1件)：
研究代表者： ( , 理工研究域, 助教 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJTM22CC
研究概要：

加工物両面において良好な面粗度と平面度を実現できる両面研磨加工において,研磨トルクのリアルタイム計測手法を基にしたSmart両面研磨機の開発を目指す.本課題では,研磨トルク計測技術の主力機への搭載に取組むとともに,研磨トルクを活用した過研磨抑制技術を開発し,研究開発課題が実現可能であることを確認する.

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研究制度：＞＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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