研課題
J-GLOBAL ID:202304015200135098
研究課題コード:22688771
希少金属を使わない高移動度酸化チタン薄膜トランジスタの開発
体系的課題番号:JPMJTM22AG
実施期間:2022 - 2023
実施機関 (1件):
研究代表者:
(
, 大学院理工学研究科, 教授 )
DOI:
https://doi.org/10.52926/JPMJTM22AG
研究概要:
有機ELや液晶ディスプレイのアクティブマトリクスを構成する高移動度薄膜トランジスタを資源的に豊富で枯渇の恐れがない酸化チタンで実現する。そのために、原子層レベルで高度に調整された金属酸化物複合膜パッシベーションを室温原子層堆積法で形成し、高移動度化を図る。また、低抵抗化のためのイオンドープ調整を行う。
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