特許

J-GLOBAL ID：202403002793323021

熱電デバイス等の評価装置

発明者： 天谷 康孝 ,  大川 顕次郎 ,  太田 道広 ,  舟橋 良次 ,  山本 淳
出願人/特許権者： 国立研究開発法人産業技術総合研究所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2022-142726
公開番号（公開出願番号）：特開2024-038604
出願日： 2022年09月08日
公開日（公表日）： 2024年03月21日
要約：

【課題】熱電デバイス等のデバイスの評価精度を向上させる評価装置を提供する。 【解決手段】本評価装置は、評価対象のデバイスの上側に設けられる第1のヒータと、デバイスと、デバイスの下側に設けられる熱流計とが第1の方向に並べられた構成の、第1の方向に直交する第2の方向の側面を空間を空けて囲うシールドであって、上記構成において第1の方向に生じる温度分布と同じ又は類似の温度分布を形成するように、ガードヒータと第1の熱ガードと第1の熱ガードとは異なる熱抵抗を有する第2の熱ガードとが配置されるシールドを有する。 【選択図】図4

請求項（抜粋）：

評価対象のデバイスの上側に設けられる第1のヒータと、前記デバイスと、前記デバイスの下側に設けられる熱流計とが第1の方向に並べられた構成の、前記第1の方向に直交する第2の方向の側面を空間を空けて囲うシールドであって、 前記構成において前記第1の方向に生じる温度分布と同じ又は類似の温度分布を形成するように、ガードヒータと第1の熱ガードと前記第1の熱ガードとは異なる熱抵抗を有する第2の熱ガードとが配置される シールドを有する評価装置。

IPC (1件)：

G01N 25/18

FI (1件)：

G01N25/18 J

Fターム (9件)：

2G040AB09 ,  2G040BA18 ,  2G040BA26 ,  2G040CA02 ,  2G040CA13 ,  2G040CA22 ,  2G040DA02 ,  2G040EC09 ,  2G040ZA08