特許
J-GLOBAL ID：202403011868287580
フォトニック結晶面発光レーザ素子
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
デロイトトーマツ弁理士法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2024-068299
公開番号（公開出願番号）：特開2024-096994
出願日： 2024年04月19日
公開日（公表日）： 2024年07月17日
要約：
【課題】
高次モード発振を抑制し、高電流注入時に至るまで基本モードを維持しつつ、安定した、ビーム品質の高いレーザ素子を提供する。
【解決手段】
層に平行な面内における形成領域内に2次元的な周期性を有して配された空孔を有するフォトニック結晶層が埋め込まれて形成された第1の半導体層と、第1の半導体層上に形成された活性層と、活性層上に形成された第2の半導体層と、第2の半導体層の表面に形成されたメサ形状のメサ部と、を有している。メサ部はフォトニック結晶層に対して垂直方向から見たとき空孔の形成領域の内側に形成されている。
【選択図】図1A
請求項（抜粋）：
フォトニック結晶層を有するフォトニック結晶面発光レーザ素子であって、
層に平行な面内における形成領域内に2次元的な周期性を有して配された空孔を有するフォトニック結晶層が埋め込まれて形成された第1の半導体層と、
前記第1の半導体層上に形成された活性層と、
前記活性層上に形成された第2の半導体層と、
前記第2の半導体層の表面に形成されたメサ形状のメサ部と、を有し、
前記メサ部は前記フォトニック結晶層に対して垂直方向から見たとき前記空孔の前記形成領域の内側に形成されている、フォトニック結晶面発光レーザ素子。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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