特許
J-GLOBAL ID:202403017852622833
ガスセンサおよびセンサデバイス
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (2件):
小野 悠樹
, 西澤 利夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2022-112025
公開番号(公開出願番号):特開2024-010596
出願日: 2022年07月12日
公開日(公表日): 2024年01月24日
要約:
【課題】ガスセンサにおける応答特性を良好にする。
【解決手段】酸化スズを含む第1層と、前記第1層の面上に形成され、酸化セリウム粒子を含む第2層とを含むガス感応層を具備し、前記酸化セリウム粒子の表面は、{100}面であるガスセンサ。
【選択図】図3
請求項(抜粋):
酸化スズを含む第1層と、
前記第1層の面上に形成され、酸化セリウム粒子を含む第2層とを含むガス感応層を具備し、
前記酸化セリウム粒子の表面は、{100}面である
ガスセンサ。
IPC (1件):
FI (2件):
G01N27/12 C
, G01N27/12 B
Fターム (7件):
2G046AA26
, 2G046BA08
, 2G046BA09
, 2G046EA02
, 2G046EA04
, 2G046FB02
, 2G046FE39
引用特許:
出願人引用 (1件)
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複合体とその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2018-005022
出願人:国立研究開発法人産業技術総合研究所
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