グラニュールMEMS振動発電

体系的課題番号：JPMJAX22KG
実施期間：2022 - 2024
実施機関 (1件)：
研究代表者： ( , 生産技術研究所, 特任助教 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJAX22KG
研究概要：

本研究は、人に載せても気付かないくらい小型のセンサ端末を駆動する砂粒サイズ(3ミリメートル角以下)のエレクトレットMEMS振動発電チップの実現に挑戦します。特に、従来は平面に並べられた振動-電気変換機構を3次元高密度化することで、チップ体積を従来比1/50以下に縮小する技術を開発します。本技術で駆動する小型無線端末により、個々人へ最適な生活環境を提供するIoTを実現します。